[实用新型]一种晶片吸盘及晶片吸附装置有效

专利信息
申请号: 201721874475.9 申请日: 2017-12-27
公开(公告)号: CN207587714U 公开(公告)日: 2018-07-06
发明(设计)人: 潘相成;严学飞 申请(专利权)人: 常州市好利莱光电科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 黄彩荣
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及晶片加工领域,具体而言,涉及一种晶片吸盘及晶片吸附装置。晶片吸盘包括背胶、树脂板、用于吸附晶片的纤维层,背胶与树脂板连接,纤维层与树脂板远离背胶的一侧连接,纤维层远离树脂板的一面为平面。晶片放置于纤维层,纤维层对晶片的吸附力能够将晶片进行固定,使晶片被加工的过程中不会移动或者滑落。纤维层远离树脂板的一面为平面。晶片平铺于纤维层表面即可,纤维层表面不会限制晶片的形状和尺寸大小,因此,同一个晶片吸盘可以适用于多种不同尺寸大小、不同形状的晶片,晶片吸盘不对晶片的形状和尺寸大小限制的同时,也不对晶片的厚度进行限制,很大程度地增加了晶片吸盘的通用性。
搜索关键词: 晶片 纤维层 树脂板 晶片吸盘 背胶 吸盘 纤维层表面 晶片吸附 种晶 本实用新型 大小限制 晶片放置 晶片加工 吸附晶片 吸附力 滑落 平铺 移动 加工
【主权项】:
1.一种晶片吸盘,其特征在于,所述晶片吸盘包括背胶、树脂板、用于吸附晶片的纤维层,所述背胶与所述树脂板连接,所述纤维层与所述树脂板远离所述背胶的一侧连接,所述纤维层远离所述树脂板的一面为平面。
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