[实用新型]等离子体灯丝气体离子源装置有效
| 申请号： | 201721875136.2 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN208111394U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 苏东艺;彭继华 | 申请（专利权）人： | 广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 黄华莲;郝传鑫 |
| 地址： | 510070 广东省广州市经济技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及离子源设备技术领域，具体涉及了一种等离子体灯丝气体离子源装置，包括第一离化筒和第二离化筒，第一离化筒的一端设有第一进气口且第一离化筒的另一端设有第一逸出口，第一离化筒的外侧壁上缠绕有第一线圈，第一离化筒内设有灯丝组件；第二离化筒的一端与第一逸出口连通，第二离化筒的另一端设有第二逸出口，第二离化筒的外侧壁上缠绕有第二线圈。本实用新型通过缠绕在第一离化筒外的第一线圈以及缠绕在第二离化筒外的第二线圈，提高了气体离化效率，同时从灯丝发射出来的杂质原子会被第一离化筒内侧壁捕获，避免杂质原子污染被加工工件。 | ||
| 搜索关键词： | 离化 缠绕 灯丝 气体离子源装置 等离子体 本实用新型 杂质原子 外侧壁 进气口 出口 被加工工件 离子源设备 灯丝组件 内侧壁 捕获 连通 发射 污染 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体灯丝气体离子源装置，其特征在于，包括均呈筒形的第一离化筒和第二离化筒，所述第一离化筒的一端设有第一进气口且所述第一离化筒的另一端设有第一逸出口，所述第一离化筒的外侧壁上缠绕有第一线圈，所述第一离化筒内设有灯丝组件；所述第二离化筒的一端与所述第一逸出口连通，所述第二离化筒的另一端设有第二逸出口，所述第二离化筒的外侧壁上缠绕有第二线圈。
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