[实用新型]一种自封防漏低沸点材料热蒸发镀膜装置

摘要

本实用新型涉及一种自封防漏低沸点材料热蒸发镀膜装置，包括：坩埚（1），坩埚上面设有出气管（5），出气管上端设有锥形阀门（6），出气管上端连接输气管（8）的前段（8A），输气管的后段（8B）中设置一组喷嘴（9），输气管的后段（8B）设置在镀膜线的真空腔室中；其特征在于：锥形阀（6）与坩埚之间的出气管（5）中设有自封密封阀体（7），用于防止在连续镀膜机密封阀上沉积膜金属膜。实用新型的有益效果是：产线的稼动率作为一个重要的设备性能考核指标，而采用此种方式蒸发镀膜，可以大大的降低设备停机时间，提高设备稼动率，提高生产效率，节约生产成本，适应大规模连续生产。

主权项

1.一种自封防漏低沸点材料热蒸发镀膜装置，包括：装载蒸发材料的双层结构的坩埚（1），坩埚内层设有加热组件（2）、外层设有冷却水管（3）；坩埚侧面设有进料口（4）、上面设有蒸发出气口（5a），蒸发出气口上设有出气管（5），出气管上端设有锥形阀（6）；出气管上端连接输气管（8）的前段（8A），输气管的后段（8B）中采用线状排列设置一组喷嘴（9），输气管的后段（8B）设置在镀膜线的真空腔室中；坩埚设有与其夹层相连的真空抽气装置、以及用于快速冷却坩埚及输气管道的氮气装置；其特征在于：锥形阀（6）与坩埚之间的出气管（5）中设有自封密封阀体（7），用于防止在连续镀膜机密封阀上沉积膜金属膜；所述的自封密封阀为环状组件，包括外层保温管（7a）及内层加热盘（7b），外层保温管及内层加热盘之间设有间隙与出气管（5）的夹层联通，内层加热盘中均布一组与出气管内腔联通的锥形孔（7h），内层加热盘外圆面设有一组冷却管（7c），冷却管上设有安全阀（7d）。