[实用新型]过渡台车和光罩检查机

摘要

本实用新型公开了一种过渡台车和光罩检查机。过渡台车用于在检查台与光罩搬运车之间搬运光罩，过渡台车包括：本体、机械手臂和承载装置。本体包括相对的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁和第二侧壁围成容纳腔。机械手臂设置于容纳腔内，并能够沿第一方向移动以将光罩自光罩搬运车取至过渡台车。承载装置用于承载搬运至过渡台车的光罩，并能够沿与第一方向垂直的第二方向移动以将光罩传输至检查台。本实用新型实施方式的过渡台车和光罩检查机，对于高度固定的光罩搬运车，通过高度可调的过渡台车可实现在检查台与光罩搬运车之间搬运光罩完成交互，可应对多种不同型号的曝光机的需求。

主权项

1.一种过渡台车，用于在检查台与光罩搬运车之间搬运光罩，其特征在于，所述光罩搬运车的高度固定，所述过渡台车包括：本体，所述本体包括相对的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和第二侧壁围成容纳腔；机械手臂，所述机械手臂设置于所述容纳腔内，并能够沿第一方向移动以将所述光罩自所述光罩搬运车取至所述过渡台车；和承载装置，用于承载搬运至所述过渡台车的所述光罩，并能够沿与所述第一方向垂直的第二方向移动以将光罩传输至所述检查台。