[发明专利]一种类钻碳振动膜的制作方法及一种扬声器有效
| 申请号： | 201780000100.6 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN107005777B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 邱士嘉;杨磊 | 申请（专利权）人： | 万魔声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R31/00 | 分类号： | H04R31/00;H04R9/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种类钻碳膜的制作方法，包括步骤：将一基材放置于空气中，所述基材为高分子材料；类钻碳复合膜沉积的步骤包括：在低于90℃的温度条件下，从大气压电浆化学气相沉积装置的一端通入含碳气体，并提供10千伏以下且5千伏以上的电压解离所述含碳气体，从所述大气压电浆化学气相沉积装置的另一端通入主气体，解离后的所述含碳气体被所述主气体带出所述大气压电浆化学气相沉积装置并沉积在所述基材的表面形成类钻碳复合膜；类钻碳振动膜成型的步骤包括：从所述类钻碳复合膜中裁切所需直径的类钻碳振动膜，并通过压制工艺形成所需形状的类钻碳振动膜；或通过压制工艺在类钻碳复合膜上压制形成所需形状和直径的类钻碳振动膜，并裁切所述类钻碳振动膜。本发明的类钻碳振动膜的制作方法，相比于传统的电浆辅助化学气相沉积和物理气相沉积的制作方法，只需在大气压环境、低温环境下就可实现类钻碳膜的沉积，无需设置真空腔体和真空装置，简化了制程。并且在低温环境下，能够避免高温导致的穿膜或热变形引起的膜皱掉，形成的类钻碳振动膜更为平坦。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 振动 制作方法 一种 扬声器 | ||
【主权项】：
一种类钻碳振动膜的制作方法，其特征在于，包括步骤：将一基材放置于空气中，所述基材为高分子材料；类钻碳复合膜沉积的步骤包括：在低于90℃的温度条件下，从大气压电浆化学气相沉积装置的一端通入含碳气体，并提供10千伏以下且5千伏以上的电压解离所述含碳气体，从所述大气压电浆化学气相沉积装置的另一端通入主气体，解离后的所述含碳气体被所述主气体带出所述大气压电浆化学气相沉积装置并沉积在所述基材的表面形成类钻碳复合膜；类钻碳振动膜成型的步骤包括：从所述类钻碳复合膜中裁切所需直径的类钻碳振动膜，并通过压制工艺形成所需形状的类钻碳振动膜；或通过压制工艺在类钻碳复合膜上压制形成所需形状和直径的类钻碳振动膜，并裁切所述类钻碳振动膜。
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