[发明专利]含第Ⅳ族金属元素的烷氧基化合物、其制备方法、包含其的膜沉积用前体组合物和利用该组合物的膜沉积方法在审
| 申请号： | 201780001545.6 | 申请日： | 2017-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN109476685A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 韩元锡;高元勇;朴明镐 | 申请（专利权）人： | UP化学株式会社 |
| 主分类号： | C07F7/28 | 分类号： | C07F7/28;C23C16/455;C23C16/18 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 杨黎峰;钟锦舜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供新型含第Ⅳ族金属元素的烷氧基化合物、制备所述含第Ⅳ族金属元素的烷氧基化合物的方法、包含所述含第Ⅳ族金属元素的烷氧基化合物的膜沉积用前体组合物和利用所述前体组合物沉积含第Ⅳ族金属元素的膜的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 金属元素 烷氧基化合物 前体组合物 膜沉积 制备 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种含第Ⅳ族金属元素的化合物，所述化合物由下列化学式1表示：[化学式1]![]()
在所述化学式1中，M是Ti原子、Zr原子或Hf原子，R1至R4分别独立地为氢原子，或碳原子数为1至4的直链或支链烷基，R5和R6分别独立地为碳原子数为1至4的直链或支链烷基，n为1至3的整数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于UP化学株式会社，未经UP化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780001545.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：新型呫吨保护剂
- 下一篇：一种手性磷酸酯的制备方法
