[发明专利]更换装置有效
| 申请号： | 201780002909.2 | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN108124469B | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 黃顺宏 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B25J5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种更换装置(100)，用于将光罩(800)从第一收纳装置(920)更换到第二收纳装置(940)，更换装置(100)包括第一承载装置(10)、第二承载装置(20)和抓取装置(30)。第一承载装置(10)用于承载第一收纳装置(920)，第一收纳装置(920)收纳有光罩(800)，第二承载装置(20)用于承载第二收纳装置(940)，抓取装置(30)用于抓取第一收纳装置(920)中的光罩(800)并用于将光罩(800)放置到第二收纳装置(940)中。 | ||
| 搜索关键词： | 更换 装置 | ||
【主权项】：
一种更换装置，用于将光罩从第一收纳装置更换到第二收纳装置，其特征在于，所述更换装置包括：第一承载装置，所述第一承载装置用于承载所述第一收纳装置，所述第一收纳装置收纳有所述光罩；第二承载装置，所述第二承载装置用于承载所述第二收纳装置；和抓取装置，所述抓取装置用于抓取所述第一收纳装置中的所述光罩并用于将所述光罩放置到所述第二收纳装置中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市柔宇科技有限公司，未经深圳市柔宇科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780002909.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
