[发明专利]溅射靶的制造方法及溅射靶有效
| 申请号： | 201780003731.3 | 申请日： | 2017-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN108350565B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 泷川干雄 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;李国卿 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 溅射靶的制造方法，其包括下述工序：嵌入工序，以在背板材的框部的高度方向上、靶材的最上方位置高于背板材的框部的最上方位置的方式，将靶材嵌入至背板材的框部的内侧；以及接合工序，将靶材扩散接合于背板材。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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