[发明专利]膜掩模、其制备方法、使用膜掩模的图案形成方法和由膜掩模形成的图案有效
| 申请号： | 201780003800.0 | 申请日： | 2017-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN108351604B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 黄智泳;徐汉珉;韩尚澈;李承宪;吴东炫;徐大韩;裵南锡;宋民守 | 申请（专利权）人： | 株式会社LG化学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/033 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 王楠楠;张云志 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种膜掩模；该膜掩模的制备方法；使用该膜掩模的图案形成方法；以及由该膜掩模制备的图案，所述膜掩模包括：透明基板、设置在所述透明基板上的暗化光屏蔽图案层、以及在未设置暗化光屏蔽图案层的区域中设置的凹槽部。 | ||
| 搜索关键词： | 膜掩模 制备 方法 使用 图案 形成 | ||
【主权项】：
1.一种膜掩模，包括：透明基板；设置在所述透明基板上的暗化光屏蔽图案层；以及在未设置暗化光屏蔽图案层的区域中设置的凹槽部。
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