[发明专利]卷取式成膜装置及卷取式成膜方法在审
| 申请号： | 201780004713.7 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN108541226A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 坂本纯一;斋藤一也;清田淳也;武井应树;横山礼宽 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | B05C1/08 | 分类号： | B05C1/08;B05D1/28;B05D3/10;B05D3/12;B05D7/04;B05D7/24;B41F5/04;B41F17/10;B41M1/02;B41M1/10;B41M1/28;B41M1/30;B65H20/02;C23C14 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明能够抑制采用卷取式在膜上形成锂层时对膜的热损伤。卷取式成膜装置具有真空容器、膜行进机构、锂源以及第一辊。上述真空容器能够维持减压状态。上述膜行进机构能够在上述真空容器内使膜行进。上述锂源能够在上述真空容器内对锂进行熔融。上述第一辊配置在上述膜的成膜面与上述锂源之间。上述第一辊具有从上述锂源接收熔融的上述锂的转印图案。上述第一辊一边旋转一边将与上述转印图案对应的锂层的图案转印到上述成膜面。 | ||
| 搜索关键词： | 真空容器 卷取 锂源 成膜装置 行进机构 转印图案 成膜面 熔融 锂层 减压状态 图案转印 热损伤 成膜 行进 配置 | ||
【主权项】：
1.一种卷取式成膜装置，具有：真空容器，其能够维持减压状态；膜行进机构，其能够在所述真空容器内使膜行进；锂源，其能够在所述真空容器内对锂进行熔融；以及第一辊，其配置在所述膜的成膜面和所述锂源之间，并具有从所述锂源接收熔融的所述锂的转印图案，一边旋转一边将与所述转印图案对应的锂层的图案转印到所述成膜面。
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