[发明专利]感光性树脂组合物和固化浮雕图案的制造方法在审
申请号: | 201780004863.8 | 申请日: | 2017-08-17 |
公开(公告)号: | CN108475020A | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 赖末友裕;中村光孝;井上泰平;平田竜也;佐佐木隆弘 | 申请(专利权)人: | 旭化成株式会社 |
主分类号: | G03F7/037 | 分类号: | G03F7/037;C08G73/10 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种负型感光性树脂组合物,其在200℃以下的低温固化条件下酰亚胺化率也良好、能得到耐化学药品性高的树脂层,所述负型感光性树脂组合物相对于(A)聚酰亚胺前体100质量份以0.1质量份~20质量份的比例包含(B)光聚合引发剂,(A)聚酰亚胺前体为具有特定结构的聚酰胺酸酯或聚酰胺酸盐,(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且不足16000。 | ||
搜索关键词: | 聚酰亚胺前体 质量份 负型感光性树脂组合物 感光性树脂组合物 固化浮雕图案 光聚合引发剂 聚苯乙烯换算 耐化学药品性 凝胶渗透色谱 聚酰胺酸盐 聚酰胺酸酯 重均分子量 酰亚胺化率 低温固化 树脂层 制造 | ||
【主权项】:
1.一种负型感光性树脂组合物,其包含:(A)聚酰亚胺前体:100质量份;和(B)光聚合引发剂:0.1质量份~20质量份,所述(A)聚酰亚胺前体为下述通式(1)所示的聚酰胺酸酯或聚酰胺酸盐,式(1)中,X1为碳数6~40的四价有机基团,Y1为碳数6~40的二价有机基团,n为2~50的整数,并且R1和R2各自独立地为氢原子、或下述通式(2)所示的基团、或下述通式(3)所示的基团,其中,R1、R2不同时为氢原子,式(2)中,R3、R4和R5各自独立地为氢原子或碳数1~3的一价有机基团,并且m为2~10的整数,式(3)中,R6、R7和R8各自独立地为氢原子或碳数1~3的有机基团,并且m2为2~10的整数,所述(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且不足16000。
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