[发明专利]通过异常值检测的特征选择及自动化工艺窗监测有效

专利信息
申请号: 201780005642.2 申请日: 2017-01-05
公开(公告)号: CN108475649B 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: S·卡达尔;S·乔纳宾;H·法加里亚;B·里斯 申请(专利权)人: 科磊股份有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;H01L21/67
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 张世俊
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 特征提取及分类用于工艺窗监测。基于经掩蔽裸片图像的度量的组合且包含一或多个片段掩模、度量及晶片图像的一组显著组合的分类器能够检测工艺非合规。可基于经计算度量使用分类器确定工艺状态。所述分类器可从标称数据学习。
搜索关键词: 通过 异常 检测 特征 选择 自动化 工艺 监测
【主权项】:
1.一种用于产生分类器的方法,其包括:接收至少一个晶片图像,所述晶片图像包括一组裸片图像;使用处理器,基于所述组裸片图像产生晶片的中值裸片及所述晶片的标准偏差;使用所述处理器,基于所述晶片的所述中值裸片且基于所述晶片的所述标准偏差产生片段掩模;使用所述处理器,将所述片段掩模应用到所述裸片图像中的每一者以产生针对所述裸片图像中的每一者的多个经分段裸片图像;使用所述处理器,用特征值的向量来表示所述裸片中的每一者;使用所述处理器,基于所述向量计算针对所述裸片图像中的每一者的裸片度量;及使用所述处理器,识别所述裸片度量、所述片段掩模及所述晶片图像的一或多个统计上显著组合以产生分类器。
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