[发明专利]真空泵

摘要

本发明提供一种用于降低装置(120)中的压力的真空泵(1)，真空泵(1)包括真空室(2)、包括槽(31)的转子(3)、叶片(4，41，42)、流体入口(5)、主流体出口(61)和副流体出口(62)。由与第一副出口点(621)接触的第一虚拟出口叶片(601)和在第一虚拟出口叶片(601)之后的第二虚拟出口叶片(602)限定的室壁的容积为由与第二主出口点(612)接触的第三虚拟出口叶片(603)和在第三虚拟出口叶片(612)之前的第四虚拟出口叶片(604)限定的室壁的容积的至少66％。主流体出口(61)包括适于在主流体出口(61)中的压力低于第一预定值的情况下对在主流体出口(61)与第一外侧流体区域(100)之间的流体连通进行密封的主阻挡器件(71)。

主权项

1.一种用于降低装置(120)中的压力的真空泵(1)，所述真空泵(1)包括：真空室(2)，所述真空室(2)具有室壁(21)，其中，所述室壁(21)包括次要点(22)和最大点，所述次要点(22)为所述室壁(21)与转子(3)之间的距离最小处的所述室壁(21)的点，所述最大点为安置第一虚拟尺寸叶片(501)的点使得由所述第一虚拟尺寸叶片(501)和在所述第一虚拟尺寸叶片(501)之前的第二虚拟尺寸叶片(502)封围的容积最大；转子(3)，所述转子(3)容置在所述真空室(2)中，所述转子(3)包括至少一个槽(31)；至少一个叶片(4，41，42)，每个叶片(4，41，42)被至少部分地引入所述转子(3)的一个槽(31)中；至少一个流体入口(5)，所述至少一个流体入口(5)位于所述室壁(21)的第一入口点(51)与所述室壁(21)的第二入口点(52)之间，所述第一流体入口(5)适于与所述装置(120)流体连通，在所述装置(120)中，压力意在被降低；以及主流体出口(61)，所述主流体出口(61)位于所述室壁(2)的第一主出口点(611)与所述室壁(2)的第二主出口点(612)之间，所述主流体出口(61)与所述真空泵(1)的第一外侧流体区域(100)流体连通；副流体出口(62)，所述副流体出口(62)位于所述室壁(2)的第一副出口点(621)与所述室壁(2)的第二副出口点(622)之间，所述副流体出口(62)与所述真空泵(1)的第二外侧流体区域(100’)流体连通，所述第一副出口点(621)与所述次要点(22)之间的距离小于所述第一主出口点(611)与所述次要点(22)之间的距离；其中，由与所述第一副出口点(621)相接触的第一虚拟出口叶片(601)和在所述第一虚拟出口叶片(601)之后的第二虚拟出口叶片(602)限定的所述室壁的容积大于由与所述第二主出口点(612)相接触的第三虚拟出口叶片(603)和在所述第三虚拟出口叶片(603)之前的第四虚拟出口叶片(604)限定的所述室壁的容积；其中，所述主流体出口(61)包括主阻挡器件(71)，所述主阻挡器件(71)适于在所述主流体出口(61)中的压力低于第一预定值的情况下对所述主流体出口(61)与所述第一外侧流体区域(100)之间的流体连通进行密封；并且其中，在所述真空室(2)中限定有压缩区域(11)，所述压缩区域(11)由下述各者所限制：第一虚拟压缩叶片(401)，所述第一虚拟压缩叶片(401)定位成与主要点(23)相接触，所述主要点是所述第二入口点(52)或所述最大点；第二虚拟压缩叶片(402)，所述第二虚拟压缩叶片(402)定位成与所述次要点(22)相接触；所述转子(3)的包含在所述第一虚拟压缩叶片(401)和所述第二虚拟压缩叶片(402)这两者之间且沿从所述第一虚拟压缩叶片(401)至所述第二虚拟压缩叶片(402)的方向认定的部分；以及所述室壁的在所述主要点(23)与所述次要点(22)之间且沿从所述第一虚拟压缩叶片(401)至所述第二虚拟压缩叶片(402)的方向认定的部分。