[发明专利]用于二维地偏转激光射束的设备有效
| 申请号： | 201780006540.2 | 申请日： | 2017-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN108602662B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | F·尤特齐;D·巴亚特;S·拉尼 | 申请（专利权）人： | 通快瑞士股份公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在一种用于二维地偏转激光射束的设备(1)中，所述设备具有：衬底(4)，其具有衬底开口(5)，设置在所述衬底(4)上的弹簧膜片(6)，所述弹簧膜片具有延伸到所述衬底开口(5)中的弹簧臂(7)以及布置在所述衬底开口(5)中的由所述弹簧臂(7)承载的中央区段(8)，所述中央区段能够二维地倾斜，并且能够在弹簧膜片中央轴线(9)的两个方向(A，B)上轴向移动地支承，镜(2)，所述镜固定在所述弹簧膜片(6)的所述中央区段(8)上，磁驱动或静电驱动(12)，其用于使镜(2)逆着所述弹簧臂(7)的回复力倾斜。根据本发明，所述中央区段(8)的超过在镜(2)的由驱动限定的倾斜的情况下的轴向偏转的轴向偏转由末端止挡装置(16)至少在轴向方向(A)上限制，所述末端止挡装置与刚性地固定在所述镜(2)上的构件(3)共同作用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 二维 偏转 激光 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于二维地偏转激光射束的设备(1)，所述设备具有：衬底(4)，其具有衬底开口(5)，设置在所述衬底(4)上的弹簧膜片(6)，所述弹簧膜片具有延伸到所述衬底开口(5)中的弹簧臂(7)以及布置在所述衬底开口(5)中的由所述弹簧臂(7)承载的中央区段(8)，所述中央区段能够二维地倾斜，并且能够在弹簧膜片中央轴线(9)的两个方向(A，B)上轴向移动地支承，镜(2)，所述镜固定在所述弹簧膜片(6)的中央区段(8)上，磁驱动或静电驱动(12)，其用于使镜(2)逆着所述弹簧臂(7)的回复力倾斜，其特征在于，所述中央区段(8)的超过在所述镜(2)的驱动限定的倾斜的情况下的轴向偏转的轴向偏转由末端止挡装置(16)至少在轴向方向(A)上限制，所述末端止挡装置与刚性地固定在所述镜(2)上的构件(3；22)共同作用。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于通快瑞士股份公司，未经通快瑞士股份公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780006540.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：竖直饮料分配歧管以及包括该分配歧管的分配器
- 下一篇：MEMS致动器组结构
