[发明专利]微机械构件有效
| 申请号： | 201780006653.2 | 申请日： | 2017-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN108473304B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | C·舍林 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种微机械构件(100)，具有：带有至少一个微机械结构(23)的载体晶片(10)，该微机械结构布置在空腔(21)中；布置在所述载体晶片(10)上的薄层罩(30)，借助于该薄层罩气密地封闭所述空腔(21)；和在具有所述微机械结构(23)的所述空腔(21)的区域中布置在所述薄层罩(30)上的罩晶片(50)；其中，借助于所述罩晶片(50)气密地封闭所述薄层罩(30)在所述空腔(21)上方的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 构件 | ||
【主权项】：
1.微机械构件(100)，具有：‑带有至少一个微机械结构(23)的载体晶片(10)，该微机械结构布置在空腔(21)中；‑布置在所述载体晶片(10)上的薄层罩(30)，借助于该薄层罩气密地封闭所述空腔(21)；和‑在具有所述微机械结构(23)的所述空腔(21)的区域中布置在所述薄层罩(30)上的罩晶片(50)；其中，借助于所述罩晶片(50)气密地封闭所述薄层罩(30)在所述空腔(21)上方的区域。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780006653.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
