[发明专利]用于真空处理系统的供应接线导件在审
| 申请号： | 201780006947.5 | 申请日： | 2017-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN109005664A | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 安德烈·布鲁宁;安德烈亚斯·索尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B01J3/02 | 分类号： | B01J3/02;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了一种用以于处理系统的真空腔室中导引多条供应接线的供应接线导件(100)。供应接线导件包括导引布置(110)，导引布置(110)包括多个连接元件(115)，其中这些连接元件(115)相对于彼此可调整角度。再者，供应接线导件包括围绕导引布置(110)设置的柔性管(120)。 | ||
| 搜索关键词： | 接线 导件 导引 连接元件 真空处理系统 处理系统 真空腔室 可调整 柔性管 | ||
【主权项】：
1.一种供应接线导件(100)，用以于处理系统的真空腔室中导引多条供应接线，所述供应接线导件包括：导引布置(110)，包括多个连接元件(115)，其中所述连接元件(115)相对于彼此可调整角度；和柔性管(120)，围绕所述导引布置(110)设置。
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