[发明专利]烧结的非孔性阴极和包括其的溅射离子真空泵

摘要

本发明涉及阴极电极组合物，其适用于提供表现出极高的稀有气体泵送速度和能力的适用于多种真空装置的泵送机构，例如溅射离子真空泵送系统包括其作为活性元件。

主权项

1.一种具有平均原子质量W的非孔性阴极(22，22’)，所述阴极适合用作溅射离子泵(3)中的电极并且在所述阴极的化学组成中包含以下两种不同金属元素的烧结块体混合物，i)具有原子质量W1的M1，M1的量为q1，q1表示为所述阴极的原子总数Q的原子百分比，和ii)具有原子质量W2的M2，M2的量为q2，q2表示为所述阴极的原子总数Q的原子百分比，所述化学组成以相对于原子总数Q按原子计小于3％的总量包含另外的不同于M1和M2的金属元素，其中M1和M2二者均选自钛、钽、锆、铌、铪、稀土元素、镍或钼，q1、q2、W1和W2被选择成使得所述阴极的被限定为W＝W1*q1+W2*q2的原子质量在80amu至160amu的范围内。