[发明专利]静电卡盘装置在审

专利信息
申请号: 201780007201.6 申请日: 2017-01-18
公开(公告)号: CN108475658A 公开(公告)日: 2018-08-31
发明(设计)人: 小坂井守;三浦幸夫;石村和典;前田佳祐;河野仁;金原勇贵;前田进一;伊藤智海 申请(专利权)人: 住友大阪水泥股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H02N13/00
代理公司: 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 代理人: 杨楷;毛立群
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种静电卡盘装置,其具备:静电卡盘部,具有载置板状试样的载置面,并且内置静电吸附用内部电极;基底部,冷却所述静电卡盘部;及粘接层,粘接所述静电卡盘部和所述基底部而一体化,在所述静电卡盘部上设置第1贯穿孔,在所述基底部上设置与所述第1贯穿孔连通的第2贯穿孔,在所述第2贯穿孔中固定筒状绝缘子,在所述绝缘子的所述静电卡盘部侧的顶端面与所述静电卡盘部之间夹入环状密封部件,筒状绝缘壁部件位于所述密封部件的径向内侧。
搜索关键词: 静电卡盘 贯穿孔 绝缘子 静电卡盘装置 环状密封部件 静电吸附 密封部件 内部电极 顶端面 固定筒 绝缘壁 载置板 载置面 粘接层 部侧 夹入 内置 筒状 粘接 连通 冷却 一体化
【主权项】:
1.一种静电卡盘装置,其具备:静电卡盘部,具有载置板状试样的载置面,并且内置静电吸附用内部电极;基底部,冷却所述静电卡盘部;及粘接层,粘接所述静电卡盘部和所述基底部而一体化,在所述静电卡盘部上设置第1贯穿孔,在所述基底部上设置与所述第1贯穿孔连通的第2贯穿孔,在所述第2贯穿孔内固定筒状绝缘子,在所述绝缘子的所述静电卡盘部侧的顶端面与所述静电卡盘部之间夹入环状密封部件,筒状绝缘壁部件位于所述密封部件的径向内侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友大阪水泥股份有限公司,未经住友大阪水泥股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201780007201.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top