[发明专利]固体摄像装置在审
申请号: | 201780007457.7 | 申请日: | 2017-01-25 |
公开(公告)号: | CN108604590A | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 横山敏史;西嘉昭;铃木政腾;益田洋司 | 申请(专利权)人: | TOWERJAZZ松下半导体有限公司 |
主分类号: | H01L27/14 | 分类号: | H01L27/14;H04N5/3745 |
代理公司: | 北京煦润律师事务所 11522 | 代理人: | 梁永芳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种固体摄像装置,其具有全局快门结构,并包括:受光部(2);布线层(6);第一透明绝缘膜(10),其以贯穿布线层(6)的方式设置在受光部(2)的正上方;透明保护膜(7),其覆盖布线层(6)的上表面和第一透明绝缘膜(10)的上表面,该透明保护膜(7)的折射率比第一透明绝缘膜(10)的折射率高;第一突起部(8),其设置在透明保护膜(7)上,该第一突起部(8)呈柱状且该第一突起部(8)的平面形状为四边形;以及第二透明绝缘膜(11),其折射率比第一突起部(8)的折射率低。 | ||
搜索关键词: | 透明绝缘膜 突起部 透明保护膜 固体摄像装置 折射率比 布线层 上表面 受光部 折射率 方式设置 平面形状 全局快门 呈柱状 覆盖布 线层 贯穿 | ||
【主权项】:
1.一种固体摄像装置,其特征在于:包括:衬底;多个受光部,其设置在所述衬底的上部,且进行光电转换;存储部,其与多个所述受光部中的每个受光部对应着设置在所述衬底的上部,所述存储部将由多个所述受光部中的每个受光部生成的电荷积累起来;至少一层布线层,其设置在所述衬底上,在所述布线层形成有多根金属布线;第一透明绝缘膜,其以贯穿所述布线层的方式设置在多个所述受光部的正上方且多根所述金属布线之间的区域;透明保护膜,其覆盖所述布线层的上表面和所述第一透明绝缘膜的上表面,所述透明保护膜的折射率比所述第一透明绝缘膜的折射率高;第一突起部,其在所述透明保护膜上设置为位于多个所述受光部中的每个受光部的上方,所述第一突起部呈柱状且该第一突起部的平面形状为四边形;以及第二透明绝缘膜,其设置在所述第一突起部上,所述第二透明绝缘膜的折射率比所述第一突起部的折射率低。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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