[发明专利]固体摄像装置在审

专利信息
申请号: 201780007457.7 申请日: 2017-01-25
公开(公告)号: CN108604590A 公开(公告)日: 2018-09-28
发明(设计)人: 横山敏史;西嘉昭;铃木政腾;益田洋司 申请(专利权)人: TOWERJAZZ松下半导体有限公司
主分类号: H01L27/14 分类号: H01L27/14;H04N5/3745
代理公司: 北京煦润律师事务所 11522 代理人: 梁永芳
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种固体摄像装置,其具有全局快门结构,并包括:受光部(2);布线层(6);第一透明绝缘膜(10),其以贯穿布线层(6)的方式设置在受光部(2)的正上方;透明保护膜(7),其覆盖布线层(6)的上表面和第一透明绝缘膜(10)的上表面,该透明保护膜(7)的折射率比第一透明绝缘膜(10)的折射率高;第一突起部(8),其设置在透明保护膜(7)上,该第一突起部(8)呈柱状且该第一突起部(8)的平面形状为四边形;以及第二透明绝缘膜(11),其折射率比第一突起部(8)的折射率低。
搜索关键词: 透明绝缘膜 突起部 透明保护膜 固体摄像装置 折射率比 布线层 上表面 受光部 折射率 方式设置 平面形状 全局快门 呈柱状 覆盖布 线层 贯穿
【主权项】:
1.一种固体摄像装置,其特征在于:包括:衬底;多个受光部,其设置在所述衬底的上部,且进行光电转换;存储部,其与多个所述受光部中的每个受光部对应着设置在所述衬底的上部,所述存储部将由多个所述受光部中的每个受光部生成的电荷积累起来;至少一层布线层,其设置在所述衬底上,在所述布线层形成有多根金属布线;第一透明绝缘膜,其以贯穿所述布线层的方式设置在多个所述受光部的正上方且多根所述金属布线之间的区域;透明保护膜,其覆盖所述布线层的上表面和所述第一透明绝缘膜的上表面,所述透明保护膜的折射率比所述第一透明绝缘膜的折射率高;第一突起部,其在所述透明保护膜上设置为位于多个所述受光部中的每个受光部的上方,所述第一突起部呈柱状且该第一突起部的平面形状为四边形;以及第二透明绝缘膜,其设置在所述第一突起部上,所述第二透明绝缘膜的折射率比所述第一突起部的折射率低。
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