[发明专利]方法、涂覆装置和处理设备有效
| 申请号： | 201780007468.5 | 申请日： | 2017-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN108474104B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 迈克·菲卢夫 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳资产股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/30;B22F1/02;C23C14/22;C23C24/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 刘明海;胡彬 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种方法、一种涂覆装置和一种处理设备。根据实施方案的不同形式，方法(100)可包括以下步骤：在涂覆区域(803)和收集区域(805)中产生真空；以第一主传播方向(102e)发射固体颗粒穿过涂覆区域(803)进入收集区域(805)；以第二主传播方向(104e)蒸发涂覆材料进入涂覆区域(803)，其中第一主传播方向(102e)和第二主传播方向(104e)相互成一角度延伸，使得涂覆材料蒸发绕过收集区域(805)。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 装置 处理 设备 | ||
【主权项】：
1.一种方法(100)，其包括：在涂覆区域(803)和收集区域(805)中产生真空；以第一主传播方向(102e)发射固体颗粒穿过涂覆区域(803)进入收集区域(805)；以第二主传播方向(104e)蒸发涂覆材料进入涂覆区域(803)，其中第一主传播方向(102e)和第二主传播方向(104e)相互成一角度延伸，使得涂覆材料蒸发绕过收集区域(805)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于冯·阿登纳资产股份有限公司，未经冯·阿登纳资产股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780007468.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于高速涂覆的真空沉积装置
- 下一篇：气隙可调节的电子束装置
- 同类专利
- 专利分类
