[发明专利]电弧蒸发装置

摘要

本发明提供一种能够长期准确地进行靶材是否存在于规定的位置的检测的电弧蒸发装置。电弧蒸发装置(1)包括：具有远端面(3a)和与其连续地沿轴向延伸的侧面(3b)，通过电弧放电从远端面(3a)起熔解并蒸发的棒状的靶材(3)；电弧电源(8)；让靶材(3)在远端面(3a)前进的输送方向上沿轴向移动的靶材输送部(4)；在靶材(3)的输送方向上的规定的位置，呈可从与输送方向交叉的交叉方向接触于靶材(3)的侧面(3b)的形状的点火杆(6)；让点火杆(6)以从退避位置沿交叉方向进入到靶材(3)被送入的搬送区域的方式移动的旋转致动器(7)，其中，该退避位置是从侧面(3b)向交叉方向离开的位置；以及在点火杆(6)的移动过程中，检测点火杆(6)是否接触于靶材(3)的侧面(3b)的检测部(9)。

主权项

1.一种电弧蒸发装置，其特征在于包括：棒状的靶材，具有作为轴向的其中之一端面的远端面和与该远端面的周缘连续地沿所述轴向延伸的侧面，通过电弧放电从所述远端面起熔解并蒸发；电极，用于在与所述靶材的所述远端面之间放电；电弧电源，通过向所述靶材与所述电极之间施加电压，使得在所述远端面与所述电极之间发生电弧放电；靶材输送部，让所述靶材在所述远端面前进的输送方向上沿所述轴向移动；接触部，在所述靶材的所述输送方向上的规定位置，呈可从与所述输送方向交叉的交叉方向接触于所述靶材的所述侧面的形状；接触部驱动部，以使所述接触部从退避位置沿所述交叉方向进入到所述靶材被送入的搬送区域的方式让所述接触部移动，其中，所述退避位置是该接触部从所述侧面向所述交叉方向离开的位置；以及检测部，在所述接触部的移动过程中，检测所述接触部是否接触于所述靶材的所述侧面。