[发明专利]有源开口MEMS开关装置有效
| 申请号： | 201780008538.9 | 申请日： | 2017-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN108604517B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | M·J·托希格;P·菲茨杰拉德 | 申请（专利权）人： | 亚德诺半导体无限责任公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 欧阳帆 |
| 地址： | 百慕大群岛(*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及有源开口MEMS开关装置。描述微机电系统(MEMS)开关。MEMS开关可以主动打开和关闭。开关可以包括通过一个或多个铰链耦合到基板上的锚的梁。在一些构造中，梁、铰链和锚可以由相同的材料制成。开关可以包括设置在基板表面上的电极，用于电控制梁的取向。铰链可以比梁更薄，从而导致铰链比梁更灵活。在一些构造中，铰链位于梁中的开口内。铰链可以在与梁的旋转轴线相同的方向上和/或在垂直于梁的旋转轴线的方向上延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 有源 开口 mems 开关 装置 | ||
【主权项】：
1.微机电系统(MEMS)开关，包括：基板；所述基板上的接线柱；微加工梁，在其中心部分具有开口，所述接线柱设置在所述开口内；和将所述微加工梁机械耦合到所述接线柱的铰链。
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