[发明专利]离子束装置中污染控制的装置、系统和方法有效
| 申请号： | 201780008729.5 | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN108604523B | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·利坎斯奇;杰·T·舒尔;威廉·戴维斯·李 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/248 | 分类号： | H01J37/248;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种离子束装置中污染控制的装置、系统和方法。所述装置可包含产生离子束的离子源，所述离子源耦合到第一电压。装置可进一步包含：停止元件，其安置于离子源与衬底位置之间；停止电压供应器，其耦合到停止元件；以及控制组件，其用于引导停止电压供应器以将停止电压施加到停止元件，当离子束包括正离子时，停止电压等于第一电压或比第一电压更加偏正，且当离子束包括负离子时，停止电压等于第一电压或比第一电压更加偏负，其中当将停止电压施加到停止元件时，离子束的至少一部分从初始轨迹向后经偏转为经偏转的离子。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 装置 污染 控制 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种装置，包括：产生离子束的离子源，所述离子源耦合到第一电压；停止元件，其安置于所述离子源与衬底位置之间；停止电压供应器，其耦合到所述停止元件；以及控制组件，其引导所述停止电压供应器以将停止电压施加到所述停止元件，当所述离子束包括正离子时，所述停止电压等于所述第一电压或比所述第一电压更加偏正，且当所述离子束包括负离子时，所述停止电压等于所述第一电压或比所述第一电压更加偏负，其中，当将所述停止电压施加到所述停止元件时，所述离子束的至少一部分从初始轨迹向后经偏转为经偏转的离子。
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