[发明专利]探针卡组件的热控制在审
| 申请号： | 201780010279.3 | 申请日： | 2017-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN108603915A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 凯文·A·汤普森;伊萨克·N·席尔瓦 | 申请（专利权）人： | 泰拉丁公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 穆森;戚传江 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供包括测试头和探针卡组件的示例测试系统，所述探针卡组件连接到测试头。探针卡组件包括：具有电触点的探针卡，连接到探针卡以向探针卡赋予刚性的加强件，以及对探针卡组件的至少一部分进行加热的加热器。探测器被配置为将待测设备(DUT)移动到与探针卡组件的电触点接触。 | ||
| 搜索关键词： | 探针卡组件 探针卡 测试头 电触点 加热器 测试系统 待测设备 加强件 热控制 探测器 加热 移动 赋予 配置 | ||
【主权项】：
1.一种测试系统，包括：测试头；连接到所述测试头的探针卡组件，所述探针卡组件包括：具有电触点的探针卡；加强件，所述加强件连接到所述探针卡以向所述探针卡赋予刚性；以及加热器，所述加热器对所述探针卡组件的至少一部分进行加热；以及探测器，所述探测器将待测设备移动到与所述探针卡组件的所述电触点接触。
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