[发明专利]用于保持、旋转以及加热和/或冷却衬底的装置和方法在审
| 申请号： | 201780010901.0 | 申请日： | 2017-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN108605389A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | T.魏泽;M.蒂施勒 | 申请（专利权）人： | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
| 主分类号： | H05B6/10 | 分类号： | H05B6/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 万欣;李雪莹 |
| 地址： | 奥地利圣*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 提出了一种用于保持、旋转和加热衬底的装置和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 加热 冷却 | ||
【主权项】：
1.一种装置(1,1',1'')，用于保持、旋转以及加热和/或冷却衬底、尤其晶片，所述装置具有：1) 转子(9)，所述转子具有：a) 至少一个次级绕组(6s,6s',6s'')，b) 衬底支架(2)，所述衬底支架带有衬底支架表面(2o)和用于固定所述衬底的固定元件(4)，c) 转动轴(8)，所述转动轴用于使所述衬底支架(2)围绕旋转轴线(R)旋转，d) 至少一个电加热器(3)和/或冷却器，所述加热器用于加热所述衬底支架表面(2o)，所述冷却器用于冷却所述衬底支架表面(2o)；2) 定子(10)，所述定子具有：a) 至少一个初级绕组(6p,6p',6p'')，b) 环形基座(7)，其中，所述转子(9)的转动轴(8)至少部分地布置在所述基座(7)内部；其中，所述装置(1,1',1'')如此构造，使得通过所述至少一个初级绕组(6p,6p',6p'')可以在所述至少一个次级绕组(6s,6s',6s'')中感应电流和/或电压，其中，通过在所述至少一个次级绕组(6s,6s',6s'')中感应的电流和/或电压可以如此运行所述至少一个加热器(3)和/或冷却器，使得可以加热和/或冷却所述衬底支架表面(2o)。
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