[发明专利]在基板上沉积一种或多种材料的真空系统和方法在审
| 申请号： | 201780012216.1 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN109154067A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 奥利弗·海姆尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56;H01J37/18;H01L51/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述一种用于在基板上沉积一种或多种材料的真空系统(100)。真空系统(100)包括：第一运输系统(110)，经配置以在主要运输方向(P)上沿着主要运输路径(101)运输基板(10)；和至少一个沉积模块(104)，在相对于主要运输方向(P)的横向方向(T)上延伸。第一运输系统(110)经配置以在运输期间将基板(10)固持在基本上平行于横向方向(T)的取向上。此外，描述一种在基板上沉积、特别地通过蒸发来沉积一种或多种材料的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 沉积 真空系统 第一运输系统 横向方向 运输 方法描述 运输路径 运输期间 固持 配置 取向 平行 蒸发 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种用于在基板上沉积一种或多种材料的真空系统(100)，包括：第一运输系统(110)，经配置以在主要运输方向(P)上沿着主要运输路径(101)运输基板；和至少一个沉积模块(104)，在相对于所述主要运输方向(P)的横向方向(T)上延伸；其中所述第一运输系统(110)经配置以在所述基板在所述主要运输方向(P)上的运输期间将所述基板固持在基本上平行于所述横向方向(T)的取向上。
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