[发明专利]脉冲直流电源供应器在审
| 申请号： | 201780012398.2 | 申请日： | 2017-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN109247032A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 尤韦·赫尔曼斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种脉冲直流电源供应器。脉冲直流电源供应器被配置为提供单极脉冲直流电源。脉冲直流电源供应器包括脉冲单元，脉冲单元用于交替地在脉冲直流电源供应器的单极脉冲周期的开启周期期间设定标称开启周期直流电压以及在关闭周期期间设定标称关闭周期电压。脉冲直流电源供应器包括电流测量单元和零线确定单元。电流测量单元被配置为在关闭周期期间测量关闭周期电流。零线确定单元被配置为确定所测量的关闭周期电流的零线条件的存在。脉冲单元被配置为在确定存在所测量的关闭周期电流的零线条件时，设定标称开启周期直流电压。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲直流电源 关闭周期 供应器 零线 脉冲单元 标称 电流测量单元 单极脉冲 确定单元 直流电压 测量 配置 直流电源 周期期间 | ||
【主权项】：
1.一种用于提供单极脉冲直流电源的脉冲直流电源供应器(100)，包括：脉冲单元(110)，所述脉冲单元用于交替地于所述脉冲直流电源供应器的单极脉冲周期的开启周期期间设定标称开启周期直流电压和在关闭周期期间设定标称关闭周期电压；电流测量单元(120)，所述电流测量单元配置用于在关闭周期期间测量关闭周期电流；和零线确定单元(130)，所述零线确定单元配置用以确定所测量的关闭周期电流的零线条件的存在；其中所述脉冲单元被配置用于在确定存在所述所测量的关闭周期电流的所述零线条件时，设定所述标称开启周期直流电压。
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