[发明专利]用于检测工件表面拓扑结构的测量方法及测量装置有效
| 申请号： | 201780012408.2 | 申请日： | 2017-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN108700400B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 乌尔里克·蒙策尔特;迈克尔·登克;马丁·蔡特勒 | 申请（专利权）人： | 黑鸟机械人系统有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B21/04;G01B11/24 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 隆翔鹰 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种借助相干断层扫描仪（28）检测工件（3）的表面拓扑结构（2）的测量方法，其中，借助机械手（4）和/或偏转单元（7、11）沿实际路径（19）引导相干断层扫描仪（28）的参考臂（12）的测量区域（14），所述实际路径由于干涉效应、特别是机械手（4）的循迹误差而至少部分偏离目标路径（18）；以及在实际路径（19）的至少一个测量点（17）处，测量所述测量区域（14）的零点（15）与工件表面（10）之间的实际距离（d |
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| 搜索关键词： | 用于 检测 工件 表面 拓扑 结构 测量方法 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种借助相干断层扫描仪（28）检测工件（3）的表面拓扑结构（2）的测量方法，其中：借助机械手（4）和/或偏转单元（7、11）沿实际路径（19）引导相干断层扫描仪（28）的参考臂（12）的测量区域（14），所述实际路径由于干涉效应、特别是机械手（4）的循迹误差而至少部分偏离目标路径（18）；以及在所述实际路径（19）的至少一个测量点（17）处，测量所述测量区域（14）的零点（15）与工件表面（10）之间的实际距离（dm），其特征在于，为补偿对所述至少一个测量点（17）的干涉效应，设定所述参考臂（12）的规划路径长度（lp）；以及借助所述规划路径长度（lp），将测得的实际距离（dm）标准化为标准距离（dn）。
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