[发明专利]涂布装置和涂布方法有效
| 申请号： | 201780012441.5 | 申请日： | 2017-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN108698073B | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 谷义则;冈本俊一;伊藤俊文;铃木晓雄 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10;B05C5/02;B05C11/00;B05D1/26 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明课题在于使涂布在被涂布部件上的涂膜的厚度成为期望的厚度。涂布装置(5)的涂布器(10)具有蓄积涂布液的蓄积部(13)、喷出涂布液的喷出口(11)以及将蓄积部(13)与喷出口(11)相连的缝状流路(12)，该涂布器(10)从喷出口(11)对基板(7)喷出涂布液。涂布装置(5)具有：移动单元(20)，其使涂布器(10)相对于基板(7)沿与被涂布面(8)平行的方向移动；泵(30)，其对涂布器(10)提供涂布液；和控制装置(50)。控制装置(50)构成为：在进行一边进行涂布器(10)的移动一边从喷出口(11)对基板(7)喷出涂布液的涂布动作时，进行用于使涂布器(10)内的涂布液成为负压并从泵(30)对涂布器(10)提供涂布液的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种涂布装置，其具有：涂布器，其具有蓄积涂布液的蓄积部、喷出涂布液的喷出口、以及将所述蓄积部与所述喷出口相连的缝状流路，该涂布器从该喷出口对被涂布部件喷出涂布液；移动单元，其使所述涂布器与所述被涂布部件在与该被涂布部件的被涂布面平行的方向上相对移动；泵，其将涂布液提供至所述涂布器；以及控制装置，在进行一边进行所述相对移动一边从所述喷出口对所述被涂布部件喷出涂布液的涂布动作时，该控制装置进行用于使所述涂布器内的涂布液成为负压并且从所述泵将涂布液提供至所述涂布器的控制。
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