[发明专利]基板处理装置

摘要

基板处理装置将具有由外壁所包围的内部区域，其内部区域通过第一隔壁划分为第一及第二基板搬送区域。基板处理装置具备：第一及第二基板搬送机械手，分别配置于上述第一及第二基板搬送区域；处理单元，与上述第二基板搬送区域邻接设置；控制部，控制上述第一及第二基板搬送机械手的动作；选择性开启电源单元，在关闭上述第一基板搬送机械手的电源的情况下，选择性地开启上述第二基板搬送机械手的电源；控制器，将调整上述第二基板搬送机械手的动作的调整信号输入至上述控制部；与联锁单元，按照各区域分别检测对上述第一及第二基板搬送区域的人的进入，并将对应区域的基板搬送机械手的电源关闭。

主权项

1.一种基板处理装置，具有由外壁所包围的内部区域，其具备：第一隔壁，将上述内部区域划分为第一基板搬送区域及第二基板搬送区域，第一基板搬送机械手及第二基板搬送机械手，分别被配置于上述第一基板搬送区域及上述第二基板搬送区域，处理单元，为了对上述基板进行规定的基板处理而与上述第二基板搬送区域邻接设置，控制部，控制上述第一基板搬送机械手及上述第二基板搬送机械手的动作；选择性开启电源单元，关闭上述第一基板搬送机械手的电源，并选择性地开启上述第二基板搬送机械手的电源；控制器，用于将调整上述第二基板搬送机械手的动作的调整信号输入至上述控制部，以及联锁单元，对人进入上述第一基板搬送区域及上述第二基板搬送区域按照各区域分别单独地进行检测，并将对应区域的基板搬送机械手的电源关闭；在上述第一隔壁，形成有用于从上述第一基板搬送区域以肉眼观测上述第二基板搬送区域的第一观测区域，在上述外壁设有通往上述第一基板搬送区域的第一门，上述第一基板搬送机械手与上述第二基板搬送机械手之间进行基板交接，上述第二基板搬送机械手与上述第一基板搬送机械手之间进行基板交接，且上述第二基板搬送机械手与上述处理单元之间进行基板交接，在上述第一基板搬送区域设定有第一作业位置，通过上述第一门到达上述第一基板搬送区域的作业者在该第一作业位置经由上述第一观测区域以肉眼观测上述第二基板搬送机械手，并在该第一作业位置经由上述控制器调整上述第二基板搬送机械手的动作。