[发明专利]柔性PMUT阵列在审
| 申请号： | 201780012648.2 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN108701751A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 唐纳德·威廉·基德韦尔;拉温德拉·谢诺伊;乔恩·拉斯特 | 申请（专利权）人： | 高通股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;B06B1/06;H01L41/313;H01L41/331 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 杨林勳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开柔性PMUT阵列和其制造方法的实施例。在一个实施例中，一种压电式微机械超声换能器PMUT阵列包括多个PMUT，其中所述PMUT的柔性阵列中的每一PMUT包含：被配置成支撑所述PMUT的第一聚合物层，被配置成对所述PMUT提供平面化的机械层，第一电极，第二电极，被配置成分离所述第一电极与所述第二电极的压电层，在所述第一电极、压电材料和所述第二电极上的被配置成路由电信号的图案，和被配置成调整所述PMUT的频率响应的腔体。 | ||
| 搜索关键词： | 第二电极 第一电极 配置 路由电信号 机械超声 聚合物层 频率响应 柔性阵列 压电材料 换能器 机械层 平面化 压电层 成对 腔体 压电 图案 支撑 制造 | ||
【主权项】：
1.一种形成压电式微机械超声换能器的柔性阵列的方法，其包括：提供被配置成支撑所述压电式微机械超声换能器PMUT的柔性阵列的载体；提供被配置成将所述PMUT的柔性阵列粘附到所述载体的释放层；在所述释放层上方形成所述PMUT的柔性阵列；以及去除所述释放层以从所述载体分离所述PMUT的柔性阵列。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于高通股份有限公司，未经高通股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780012648.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
