[发明专利]形状测定装置和形状测定方法在审
| 申请号： | 201780012696.1 | 申请日： | 2017-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN108700398A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 高桥裕树 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01B5/20 | 分类号： | G01B5/20;G01B5/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;于英慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 形状测定装置(1)具有：保持架(45)，其对测定对象物W进行保持；传感器(30)，其测定被测定面W1的加压状态下的形状并输出测定值；驱动装置，其使传感器(30)绕中心轴R1旋转；滑轨(20)和杆(21)，它们能够使传感器(30)在与中心轴(R1)垂直的轴(R2)上移动，并且能够在轴(R2)与中心轴(R1)的交点的两侧范围内移动；XYZ载台，其能够使保持架(45)沿Z轴移动，并且能够使保持架(45)在XY面内移动；以及控制装置(60)，其根据从传感器(30)输出的测定值来计算被测定面(W1)的球心的位置，进行使球心的位置与传感器(30)的旋转中心(C)一致的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 保持架 中心轴 形状测定装置 球心 测定面 测定对象物 加压状态 控制装置 驱动装置 形状测定 旋转中心 输出 垂直的 上移动 移动 滑轨 载台 | ||
【主权项】：
1.一种形状测定装置，其测定测定对象物的被测定面的形状，所述测定对象物具有呈球面状的所述被测定面，其特征在于，该形状测定装置具有：保持架，其对所述测定对象物进行保持；传感器，其测定所述被测定面的加压状态下的形状并输出测定值；传感器旋转机构，其使所述传感器绕第一轴旋转；传感器移动机构，其能够使所述传感器在与所述第一轴垂直的第二轴上移动，并且能够使所述传感器沿所述第二轴在所述第二轴与所述第一轴的交点的两侧范围内移动；保持架移动机构，其能够使所述保持架沿与铅垂方向平行的第三轴移动，并且能够使所述保持架在与所述第三轴垂直的面内移动；以及控制装置，其根据从所述传感器输出的所述测定值来计算所述被测定面的形状和所述被测定面的球心的位置，对所述保持架移动机构进行使所述球心的位置与所述第一轴与所述第二轴的所述交点一致的控制。
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