[发明专利]无规共聚物、抗蚀剂组合物、滤色器及无规共聚物的制造方法有效
| 申请号： | 201780013043.5 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN108713031B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 清水良平;坂本圭亮;笹本慎;高野启 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | C08F220/22 | 分类号： | C08F220/22;C08F2/38;G02B5/20;G03F7/004;G03F7/033 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供可获得能得到平滑的彩色抗蚀剂层、能够抑制该彩色抗蚀剂层中的源自颜料等着色剂的异物的产生、而且显影性优异的抗蚀剂组合物的无规共聚物(氟系表面活性剂)、使用其的抗蚀剂组合物、滤色器。具体而言，提供无规共聚物、使用其的抗蚀剂组合物、滤色器，所述无规共聚物为聚合性单体(a1)与聚合性单体(a2)的无规共聚物，并且，重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.0～1.8，所述聚合性单体(a1)具有与氟原子直接键合的碳原子的数目为1～6的氟化烷基和聚合性不饱和基团，所述聚合性单体(a2)具有桥环烃的骨架和聚合性不饱和基团。 | ||
| 搜索关键词： | 共聚物 抗蚀剂 组合 滤色器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种无规共聚物，其特征在于，其为聚合性单体(a1)与聚合性单体(a2)的无规共聚物，并且，重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.0～1.8，所述聚合性单体(a1)具有与氟原子直接键合的碳原子的数目为1～6的氟化烷基和聚合性不饱和基团，所述聚合性单体(a2)具有桥环烃的骨架和聚合性不饱和基团。
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