[发明专利]MEMS设备和方法有效
| 申请号： | 201780014131.7 | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN108702575B | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | C·W·H·钟;S·L·卡吉尔;C·R·詹金斯 | 申请（专利权）人： | 思睿逻辑国际半导体有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 郑建晖;陈璐 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请描述了MEMS换能器，所述MEMS换能器具有通气口结构，所述通气口结构被设置在所述通气口结构的柔性膜中。所述通气口结构包括至少一个可移动部分，且所述通气口结构被配置成使得，响应于所述通气口结构两侧的压力差，所述可移动部分能够绕第一旋转轴线和第二旋转轴线旋转，这些旋转轴线在所述膜的平面中延伸。 | ||
| 搜索关键词： | mems 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS换能器，包括：一个柔性膜，所述柔性膜具有包括至少一个可移动部分的通气口结构，其中所述可移动部分通过具有宽度的连接部分连接到所述膜的其余部分，且其中所述可移动部分关于一个假想线不对称，该假想线在大体上正交于所述连接部分的宽度的方向上从所述连接部分的中心延伸横跨所述可移动部分。
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