[发明专利]喷雾器喷嘴、成膜装置、及成膜方法在审
| 申请号： | 201780014477.7 | 申请日： | 2017-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN108698059A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 平野正树 | 申请（专利权）人： | 拓自达电线株式会社 |
| 主分类号： | B05B7/16 | 分类号： | B05B7/16;C23C4/12;C23C24/04 |
| 代理公司： | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 11012 | 代理人： | 黄泽雄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 实现易于在狭小区域成膜的、喷雾器喷嘴、成膜装置、及成膜方法。喷雾器喷嘴1具备：载气的通道沿着该载气的流向而缩小的气体入口部(2)、载气的通道沿着该载气的流向而扩大的通路扩大部(3)、形成有将所述载气的通道与外部空间连通的一个或多个开口(4a)的开口形成部(4)、以及、所述载气的通道沿着该载气的流向而缩小的气体出口部(5)。 | ||
| 搜索关键词： | 载气 喷雾器喷嘴 成膜 成膜装置 开口形成部 气体出口部 气体入口部 外部空间 狭小区域 连通 开口 | ||
【主权项】：
1.一种喷雾器喷嘴，其中，该喷雾器喷嘴适用于通过向基材同时喷射载气及膜材料从而在该基材上成膜的成膜装置，该喷雾器喷嘴的特征在于，具备：气体入口部，该气体入口部中，所述载气的通道沿着该载气的流向而缩小；与所述气体入口部相连的通路扩大部，该通路扩大部中，所述载气的通道沿着该载气的流向而扩大；与所述通路扩大部相连的开口形成部，该开口形成部上形成有将所述载气的通道与外部空间连通的一个或多个开口；以及与所述开口形成部相连的气体出口部，该气体出口部中，所述载气的通道沿着该载气的流向而缩小。
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