[发明专利]三维测量装置

摘要

提供一种三维测量装置，能够利用波长不同的光扩大测量范围，并且通过测量效率。三维测量装置(1)包括：第一投光系统(2A)，使作为第一波长光和第二波长光的合成光的第一光入射至入射偏振分光器(60)的第一面(60a)；第二投光系统(2B)，使作为第三波长光和第四波长光的合成光的第二光入射至入射偏振分光器(60)的第二面(60b)；第一拍摄系统(4A)，能够将从所述第二面(60b)射出的第一光涉及的输出光分离为第一波长光涉及的输出光和第二波长光涉及的输出光并分别拍摄这些光；以及第二拍摄系统(4B)，能够将从所述第一面(60a)射出的第二光涉及的输出光分离为第三波长光涉及的输出光和第四波长光涉及的输出光并分别拍摄这些光。

主权项

1.一种三维测量装置，其特征在于，包括：预定的光学系统，所述预定的光学系统能够将入射的预定的光分割为两种光，将一种光作为测量光而照射至被测量物，且将另一种光作为参照光而照射至参照面，并且将这两种光再次合成而射出；第一照射单元，所述第一照射单元能够射出入射至所述预定的光学系统的第一光；第二照射单元，所述第二照射单元能够射出入射至所述预定的光学系统的第二光；第一拍摄单元，所述第一拍摄单元能够入射从所述预定的光学系统射出的所述第一光涉及的输出光；第二拍摄单元，所述第二拍摄单元能够入射从所述预定的光学系统射出的所述第二光涉及的输出光；以及图像处理单元，所述图像处理单元能够基于由所述第一拍摄单元和所述第二拍摄单元拍摄的干涉条纹图像执行所述被测量物的三维测量，在使所述第一光和所述第二光分别入射至所述预定的光学系统的不同位置并使所述第一光涉及的输出光和所述第二光涉及的输出光分别从所述预定的光学系统的不同位置射出的构成之下，所述第一照射单元包括能够射出包含第一波长偏振光的第一波长光的第一波长光射出部和/或能够射出包含第二波长偏振光的第二波长光的第二波长光射出部，构成为能够射出包含所述第一波长偏振光和/或所述第二波长偏振光的所述第一光，所述第二照射单元包括能够射出包含第三波长偏振光的第三波长光的第三波长光射出部和/或能够射出包含第四波长偏振光的第四波长光的第四波长光射出部，构成为能够射出包含所述第三波长偏振光和/或所述第四波长偏振光的所述第二光，所述第一拍摄单元包括：第一波长光拍摄部，当包含所述第一波长偏振光的所述第一光入射至所述预定的光学系统时，所述第一波长光拍摄部能够拍摄包含于从所述预定的光学系统射出的所述第一光涉及的输出光中的所述第一波长偏振光涉及的输出光；和/或第二波长光拍摄部，当包含所述第二波长偏振光的所述第一光入射至所述预定的光学系统时，所述第二波长光拍摄部能够拍摄包含于从所述预定的光学系统射出的所述第一光涉及的输出光中的所述第二波长偏振光涉及的输出光，所述第二拍摄单元包括：第三波长光拍摄部，当包含所述第三波长偏振光的所述第二光入射至所述预定的光学系统时，所述第三波长光拍摄部能够拍摄包含于从所述预定的光学系统射出的所述第二光涉及的输出光中的所述第三波长偏振光涉及的输出光；和/或第四波长光拍摄部，当包含所述第四波长偏振光的所述第二光入射至所述预定的光学系统时，所述第四波长光拍摄部能够拍摄包含于从所述预定的光学系统射出的所述第二光涉及的输出光中的所述第四波长偏振光涉及的输出光。