[发明专利]液滴沉积头部及用于其的歧管部件有效
申请号: | 201780015158.8 | 申请日: | 2017-03-06 |
公开(公告)号: | CN108778752B | 公开(公告)日: | 2020-11-20 |
发明(设计)人: | 阿萨纳西奥斯·卡纳里斯;科林·布鲁克;阿方索·卡梅诺萨利纳斯;J·加西亚马扎;阿图尔·杰迪尼亚克 | 申请(专利权)人: | 赛尔科技有限公司 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14;B41J2/175 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 张瑞;杨明钊 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种液滴沉积头部包括:一个或更多个歧管部件,其提供一个或更多个流体入口,每个流体入口可连接到流体供应系统,使得该头部可接纳对应的液滴流体;以及两个或更多个流体室阵列,每个室设置有相应的致动元件和相应的喷嘴,每个致动元件是可致动的以穿过喷嘴中的对应的一个喷嘴在喷射方向喷射流体液滴,每个阵列在阵列方向上延伸。头部在喷射方向上从第一端部延伸到第二端部,一个或更多个流体入口位于第一端部处,流体室阵列位于第二端部处。一个或更多个分支入口路径在喷射方向上在歧管部件的高度的第一部分上设置在歧管部件内,分支路径中的每一个被流体地连接,以便在其主分支处从流体入口中的相应的一个接收流体,在一个或更多个分支点处分支成两个或更多个子分支,并以多个端部子分支结束,流体被输送到该多个端部子分支。多个变宽入口室在喷射方向上在歧管部件的高度的第二部分上设置在歧管部件内,每个变宽入口室从其第一端部到第二端部在阵列方向上的宽度随着在喷射方向上的距离而增加,第一端部被流体地连接以便从分支路径中的一个或更多个接收流体,并且第二端部被流体地连接以便为阵列中的一个或更多个供应流体。每个分支入口路径被流体地连接,以便为变宽入口室中的两个或更多个供应流体。还提供了用于液滴沉积头部的歧管部件,歧管部件包括多个层。 | ||
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【主权项】:
1.一种液滴沉积头部,包括:一个或更多个歧管部件,所述一个或更多个歧管部件提供一个或更多个流体入口,所述流体入口中的每一个能够连接到流体供应系统,使得所述头部能够接收液滴流体;和两个或更多个流体室阵列,每个室设置有相应的致动元件和相应的喷嘴,每个致动元件是可致动的以通过所述喷嘴中对应的一个喷嘴在喷射方向上喷射流体液滴,每个阵列在阵列方向上延伸;其中所述头部在所述喷射方向上从第一端部延伸到第二端部,所述一个或更多个流体入口位于所述第一端部处,所述流体室阵列位于所述第二端部处;其中一个或更多个分支入口路径在所述喷射方向上在所述歧管部件的高度的第一部分上设置在所述歧管部件内,所述分支路径中的每一个被流体地连接以便在其主分支处从所述流体入口中的相应的一个流体入口接收流体,在一个或更多个分支点处分支成两个或更多个子分支,并且以多个端部子分支结束,流体被输送到所述多个端部子分支;其中多个变宽入口室在所述喷射方向上在所述歧管部件的高度的第二部分上设置在所述歧管部件内,每个变宽入口室在所述阵列方向上的宽度随着在所述喷射方向上从其第一端部到第二端部的距离而增加,所述第一端部被流体地连接以便从所述分支路径中的一个或更多个接收流体,并且所述第二端部被流体地连接以便为所述阵列中的一个或更多个供应流体;其中所述分支入口路径中的每一个被流体地连接,以便为所述变宽入口室中的两个或更多个供应流体。
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