[发明专利]在去夹持步骤期间移除静电夹盘上的残余电荷的方法

摘要

一种用于从基板支撑件对残余电荷进行放电的方法和设备。在一个例子中，提供了基板支撑件，基板支撑件包括本体、设置在本体中的电极、辐射发射器和扩散器。本体具有形成在工件支撑表面中的一个或多个孔，工件支撑表面经构造以在工件支撑表面上接收基板。电极经构造以将基板静电保持到工件支撑表面。辐射发射器设置在形成于工件支撑表面中的一个或多个孔的第一孔中。辐射发射器经构造以从第一孔发射电磁能。扩散器设置在第一孔中并位于辐射发射器上方。

主权项

1.一种基板支撑件，包含：本体，具有形成在工件支撑表面中的一个或多个孔，所述工件支撑表面经构造以在所述工件支撑表面上接收基板；电极，设置在所述本体中，且经构造以将所述基板静电保持到所述工件支撑表面；辐射发射器，设置在形成于所述工件支撑表面中的所述一个或多个孔的第一孔中，所述辐射发射器经构造以从所述第一孔发射电磁能；及扩散器，设置在所述第一孔中并位于所述辐射发射器上方。