[发明专利]用于调整来自带电粒子源的粒子束的强度的设备

摘要

一种用于调整沿着轴线(A0)发射的带电粒子束的强度的设备，该设备包括：4×N个连续的偏转系统(21，22，23，24)，其中，N＝1或2，偏转系统(21，22，23，24)沿着所述粒子束的轴线(A0)定位；针对每个偏转系统(21，22，23，24)，用于施加偏转所述束的力并且用于改变所施加的力的装置；两个准直器(41，42)，每个准直器具有槽(61，62)，槽具有宽度从中心朝周边增加的开口，两个准直器分别位于第一偏转系统与第二偏转系统之间以及第三偏转系统与第四偏转系统之间；准直器(41)的槽(61，62)的开口面向所述束的发射轴线A0的两侧。

主权项

1.一种用于调整沿轴线(A0)发射的带电粒子束的强度的设备，包括：4×N个连续的偏转系统(21，22，23，24)，其中，N＝1或2，其中，所述偏转系统(21，22，23，24)沿着所述粒子束的所述轴线(A0)定位，并且能够使所述束在同一方向上相对于所述轴线(A0)偏转，其中，对于两个连续的系统(21，22，23，24)，偏转方向交替，用于针对每个偏转系统(21，22，23，24)施加偏转所述束的力并且用于改变所施加的力的装置，两个准直器(41，42)，每个准直器具有槽(61，62)，所述槽具有宽度从中心朝周边增加的开口，所述两个准直器分别位于第一偏转系统与第二偏转系统之间以及第三偏转系统与第四偏转系统之间，其中，第一准直器(41)的槽(61)的开口面向所述束的发射轴线A0的一侧，并且第二准直器(41)的槽(62)的开口面向所述束的发射轴线(A0)的相反侧。