[发明专利]编码器装置、驱动装置、载台装置及机械手装置有效
| 申请号： | 201780016417.9 | 申请日： | 2017-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108713129B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 大野康 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;B25J19/02;G01D5/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 具备：具有在规定方向上排列的图案(12)的标尺(11)；获取图案(12)的信息的获取部(20)；和支承部(40)，其相对于标尺(11)和获取部(20)的一者在与规定方向不同的方向上的移动，将标尺(11)和获取部(20)的另一者支承为能够在不同的方向上移动。 | ||
| 搜索关键词： | 编码器 装置 驱动 机械手 | ||
【主权项】：
1.一种编码器装置，其特征在于，具备：标尺，其具有在规定方向上排列的图案；获取部，其获取所述图案的信息；和支承部，其相对于所述标尺和所述获取部的一者在与所述规定方向不同的方向上的移动，将所述标尺和所述获取部的另一者支承为能够在所述不同的方向上移动。
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