[发明专利]曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置有效
| 申请号： | 201780016937.X | 申请日： | 2017-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN108780281B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 赵南稙;印致亿;朴钟沅;宋友莉;丁海一 | 申请（专利权）人： | 赵南稙 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F21K9/60;F21V5/04;F21V29/70;F21V8/00 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;张国香 |
| 地址： | 韩国忠清*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种曝光用光源模块单元。根据本发明的曝光用光源模块单元包括：光源面板，其将多个紫外线发光元件设置为阵列结构；光学面板，在配置于发光元件的光射出侧的透镜面板，多个的单位聚光透镜设置为从分别与单位发光元件相对应的位置针对主光轴向经过紫外线发光元件阵列的中心的任意的基准中心轴线侧偏心的状态的矩阵形态的阵列结构，单位聚光透镜具有如下构成：光入射面形成为从平面、具有(‑)0.15以内的曲率(R)的凹面和具有(+)0.15以内的曲率(R)的凸面中选择的任意一种形态，同时，光射出面形成为凸透镜，紫外线发光元件和单位聚光透镜的间隔距离(C1)排列为相对于聚光透镜的直径(d)满足0.15C1/d0.5的值。根据所述构成，效果在于，从各单位紫外线发光元件照射的扩散光得以有效地聚光于曝光装置的受光区域，从而使低消耗电力的光量极大化，尤其，通过实现高效率、高功率的单波长、短波长的紫外线光，可确保实现曝光图形的微细化和大幅度提升分辨率的曝光性能的同时，实用性和经济性上可代替现有曝光装置的光源。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 用光 模块 单元 以及 设置 有所 光源 装置 | ||
【主权项】：
1.一种曝光用光源模块单元，其特征在于，包括：光源面板(110)，其设置为多个单位紫外线发光元件(111)以矩阵形态的阵列结构安装于电路板(112)上，并装载于支撑面板(113)；第一光学面板(120)，其以与所述光源面板(110)相面对的形式形成，透镜面板(122)配置于所述发光元件(111)的光射出侧，在透镜面板(122)，多个单位聚光透镜(121)设置为从分别与所述发光元件(111)相对应的位置针对主光轴向经过位于所述光源面板(110)上的紫外线发光元件阵列中心的任意的基准中心轴线侧偏心的状态的矩阵形态的阵列结构，所述单位聚光透镜(121)的光入射面形成为从平面、具有(‑)0.15以内的曲率(R)的凹面和具有(+)0.15以内的曲率(R)的凸面中选择的任意一种形态，同时，光射出面形成为凸透镜，所述单位紫外线发光元件(111)和单位聚光透镜(121)的间隔距离(C1)排列为相对于单位聚光透镜(121)的直径(d)满足0.15
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