[发明专利]用于超细颗粒尺寸检测的激光传感器

摘要

本发明描述了一种用于检测超细颗粒(10)的激光传感器模块(100)，所述超细颗粒具有300nm或更小、更优选200nm或更小、最优选100nm或更小的颗粒尺寸，所述激光传感器模块(100)包括：‑至少一个激光器(110)，其适于对由至少一个电驱动器(130)提供的信号做出反应而将激光发射到至少一个聚焦区域；‑至少一个检测器(120)，其适于确定所述至少一个激光器(110)的激光腔内的光波的自混合干涉信号，其中，所述自混合干涉信号是由重新进入所述激光腔的反射激光引起的，所述反射激光是由接收所述激光的至少部分的颗粒反射的；‑所述激光传感器模块(100)被布置为执行至少一次自混合干涉测量；‑所述激光传感器模块(100)适于借助于基于所述至少一次自混合干涉测量而确定的至少一个测量结果来确定具有第一灵敏度的第一颗粒尺寸分布，所述激光传感器模块还适于确定具有第二灵敏度的第二颗粒尺寸分布函数，所述第二灵敏度不同于所述第一灵敏度；‑至少一个评价器(140)，其适于通过从所述第一颗粒尺寸分布函数中减去与校准因子q相乘的所述第二颗粒尺寸分布函数来确定300nm或更小的颗粒尺寸的颗粒度量。本发明还描述了对应的方法和计算机程序产品。本发明实现了能够检测具有100nm或者甚至更小的尺寸的颗粒的、基于激光自混合干涉的简单并且低成本的颗粒检测模块或颗粒检测器。

主权项

1.一种用于检测超细颗粒(10)的激光传感器模块(100)，所述超细颗粒具有300nm或更小、更优选200nm或更小、最优选100nm或更小的颗粒尺寸，所述激光传感器模块(100)包括：‑至少一个激光器(110)，其适于对由至少一个电驱动器(130)提供的信号做出反应而将激光发射到至少一个聚焦区域，‑至少一个检测器(120)，其适于确定所述至少一个激光器(110)的激光腔内的光波的自混合干涉信号，其中，所述自混合干涉信号是由重新进入所述激光腔的反射激光引起的，所述反射激光是由接收所述激光的至少部分的颗粒反射的，‑所述激光传感器模块(100)被布置为执行至少一次自混合干涉测量，其特征在于：‑所述激光传感器模块(100)适于确定第一颗粒尺寸分布函数，其中，所述第一颗粒尺寸分布函数借助于基于所述至少一次自混合干涉测量而确定的至少一个测量结果由相对于颗粒尺寸检测的第一灵敏度来表征，所述激光传感器模块还适于确定第二颗粒尺寸分布函数，其中，所述第二颗粒尺寸分布函数由相对于颗粒尺寸检测的第二灵敏度来表征，所述第二灵敏度不同于所述第一灵敏度，‑至少一个评价器(140)，其适于通过从所述第一颗粒尺寸分布函数中减去与校准因子q相乘的所述第二颗粒尺寸分布函数来确定300nm或更小的所述颗粒尺寸的颗粒度量，其中，所述校准因子q被确定为使得较大颗粒的影响被消除，使得能够确定所述颗粒度量。