[发明专利]使基底通过负压夹紧的衬托器以及用于外延沉积的反应器有效
| 申请号： | 201780019048.9 | 申请日： | 2017-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN108884589B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 温森佐·奥格里阿里;西尔维奥·佩雷蒂 | 申请（专利权）人： | 洛佩诗公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 李慧慧;郑霞 |
| 地址： | 意大利米*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于外延沉积反应器的衬托器包括盘形部分(11、12)，该盘形部分适于水平放置并且在顶部处具有至少一个圆柱形的袋(200)，待经受外延沉积工艺的基底(100)放置在该袋处；袋(200)具有底部；流体连接到吸气系统(300)的一个或更多个导管(13)在袋(200)的底部上开口；当基底(100)被放置在袋(200)的底部上并且吸气系统(300)处于工作状态时，基底(100)保持附着到袋(200)的底部。特别地：上部主体(12)在上方具有袋(200)，导管(13)仅竖直地穿过上部主体(12)，导管(13)流体连接到集气室(14)，集气室在袋(200)下方位于下部主体(11)和上部主体(12)之间，集气室(14)流体连接到吸气系统(300)；由此当基底(100)被放置在袋(200)的底部上并且吸气系统(300)处于工作状态时，下部主体(11)和上部主体(12)保持结合。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 通过 夹紧 衬托 以及 用于 外延 沉积 反应器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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