[发明专利]摄像装置、摄像装置的制造方法和电子装置

摘要

本技术涉及能够在像素中设置电容元件的情况下防止成像装置的灵敏度降低的成像装置、成像装置的制造方法和电子装置。成像装置包括像素，像素包括：光电转换元件、累积由光电转换元件产生的电荷的电容元件、第一至第三绝缘膜、晶体管及第二触点。第一绝缘膜位于光电转换元件上。所述晶体管的栅极位于第二绝缘膜上。电容元件包括多个沟槽电容器，所述多个沟槽电容器包括：第一电极，包括多个沟槽；多个第二电极，每个第二电极的横截面积小于连接到像素中的所述晶体管的栅极的第一触点，并且埋入每个沟槽中。所述第三绝缘膜在每个沟槽中设置在第一电极和第二电极之间。第二触点连接至第一电极的上表面。本技术例如可以应用于背面照射型CMOS图像传感器。

主权项

1.一种成像装置，包括像素中的：光电转换元件；以及电容元件，配置为累积由所述光电转换元件产生的电荷，其中，所述电容元件包括：第一电极，其中形成多个第一沟槽，多个第二电极，每个所述第二电极的横截面积小于连接到所述像素中的晶体管的栅极的触点，并且埋入每个所述第一沟槽中，以及第一绝缘膜，在每个所述第一沟槽中设置在所述第一电极和所述第二电极之间。