[发明专利]图案化设备冷却系统以及热调节图案化设备的方法有效
| 申请号： | 201780019458.3 | 申请日： | 2017-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN108885406B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | H·E·塞克利;G·纳基伯格鲁;F·J·J·范博克斯特尔;J-P·X·范达梅;R·J·F·范哈伦 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张昊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种图案化设备冷却系统(30)，用于热调节光刻装置的图案化设备(MA)，其中图案化设备在使用时被曝光辐射照射，其中图案化设备冷却系统包括：热调节器(20)，被配置为热调节图案化设备；以及控制器(500)，被配置为控制热调节器，以根据被图案化设备吸收的曝光辐射的量来热调节图案化设备。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 设备 冷却系统 以及 调节 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案化设备冷却系统，用于热调节光刻装置的图案化设备，其中所述图案化设备在使用中被曝光辐射所照射，其中所述图案化设备冷却系统包括：热调节器，被配置为热调节所述图案化设备；以及控制器，被配置为根据被所述图案化设备吸收的所述曝光辐射的量来控制所述热调节器。
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