[发明专利]保护膜形成用膜及保护膜形成用复合片有效
申请号: | 201780019966.1 | 申请日: | 2017-04-25 |
公开(公告)号: | CN108886023B | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
发明(设计)人: | 小桥力也;稻男洋一 | 申请(专利权)人: | 琳得科株式会社 |
主分类号: | H01L23/00 | 分类号: | H01L23/00;H01L21/301 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;谢顺星 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种保护膜形成用膜,其为能量射线固化性的保护膜形成用膜,其中,在所述保护膜形成用膜中,至少一侧的表面(α)的表面粗糙度(Ra)为0.038μm以上。优选所述表面(α)的表面粗糙度(Ra)为2.0μm以下。 | ||
搜索关键词: | 保护膜 形成 复合 | ||
【主权项】:
1.一种保护膜形成用膜,其为能量射线固化性的保护膜形成用膜,其中,在所述保护膜形成用膜中,至少一侧的表面(α)的表面粗糙度(Ra)为0.038μm以上。
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