[发明专利]金属氧化膜在审
| 申请号： | 201780020114.4 | 申请日： | 2017-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN109311737A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 安德鲁·西尔;彼得·爱德华兹;乔纳森·迪尔沃思;弗拉基米尔·库兹涅佐夫;凯瑟琳·海斯 | 申请（专利权）人： | 牛津大学科技创新有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/10 | 分类号： | C03C17/10;C23C18/12;C03C17/25 |
| 代理公司： | 成都七星天知识产权代理有限公司 51253 | 代理人： | 袁春晓 |
| 地址： | 英国牛津郡牛津市西路3*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种制备金属氧化膜的方法，包括：提供含有金属络合物的前体溶液或分散液；在有水的情况下，将前体溶液喷射到加热基底上，以在基底上沉积材料；以及对所述沉积材料进行干燥，以制备金属氧化膜。 | ||
| 搜索关键词： | 金属氧化膜 沉积材料 前体溶液 基底 制备 金属络合物 分散液 加热 喷射 | ||
【主权项】：
1.一种制备金属氧化膜的方法，包括：提供含有金属络合物的前体溶液或分散液；在有水的情况下，将所述前体溶液喷射在加热基底上，以在所述基底上沉积材料；以及对所述沉积材料进行干燥，以制备所述金属氧化膜。
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