[发明专利]主动冷却的真空隔离阀有效
申请号: | 201780020275.3 | 申请日: | 2017-04-10 |
公开(公告)号: | CN108885978B | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 戈登·希尔;大卫·F·布罗耶尔;大卫·C·诺伊迈斯特;布拉德利·雷蒙德·勒费夫尔 | 申请(专利权)人: | MKS仪器公司 |
主分类号: | H01L21/205 | 分类号: | H01L21/205;F16K5/10;H01L21/67 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 王瑞朋;胡彬 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种冷却隔离阀,包括阀体、联接至阀体的固定元件以及可相对于固定元件在闭合位置与打开位置之间移动的可移动闭合元件,在该闭合位置,可移动闭合元件和固定元件结合在一起。可移动闭合元件和固定元件之一包括密封元件。在可移动闭合元件的闭合位置,密封元件在可移动闭合元件与固定元件之间提供密封。流体通道形成为与可移动闭合元件接触并且可相对于固定元件随可移动闭合元件移动,使得流体通道中的流体在可移动闭合元件中实现热传递。一种隔离阀的波纹管可以包括带有陶瓷涂层的金属基材。 | ||
搜索关键词: | 主动 冷却 真空 隔离 | ||
【主权项】:
1.一种冷却隔离阀,包括:阀体;固定元件,其联接至所述阀体并相对于所述阀体固定;可移动闭合元件,其能够相对于所述固定元件在闭合位置与打开位置之间移动,在所述闭合位置,所述可移动闭合元件和所述固定元件结合在一起,所述可移动闭合元件和所述固定元件之一包括密封元件,在所述可移动闭合元件的闭合位置,所述密封元件在所述可移动闭合元件与所述固定元件之间提供密封;以及流体通道,其形成为与所述可移动闭合元件接触并且能够相对于所述固定元件随所述可移动闭合元件移动,使得所述流体通道中的流体在所述可移动闭合元件中实现热传递。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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