[发明专利]使用测试气体喷射装置的气体泄漏搜索有效
申请号: | 201780021497.7 | 申请日: | 2017-03-28 |
公开(公告)号: | CN109073495B | 公开(公告)日: | 2021-09-17 |
发明(设计)人: | 亚尔马尔·布鲁恩斯;厄恩斯特·弗兰克;拉尔夫·基利安;约恩·利布利希;诺伯特·莫瑟尔;约亨·普哈拉-柯尼格;诺伯特·罗尔夫;兰多夫·罗尔夫;丹尼尔·维茨格 | 申请(专利权)人: | 英福康有限责任公司 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20;G01M3/22 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 徐飞 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种气体泄漏搜索装置,包括用于用测试气体喷射测试对象(20)的测试气体喷射装置(12),用于抽空所述测试对象(20)的真空组件(30),其中所述真空组件(30)具有真空泵(26)和在所述测试对象(20)下游的用于测量所述测试气体比例的气体检测器(28),以及用于评估所述气体检测器(28)的测量信号的分析单元(32)。本发明的特征在于在喷射装置(12)和分析单元(32)之间建立数据通信连接(34);喷射装置(12)设计用于检测喷射过程的至少一个时间点并将其传送到分析单元(32),并且所述分析单元(32)被设计成在喷涂过程的传输时间点输出相应的测量的测试气体比例。 | ||
搜索关键词: | 使用 测试 气体 喷射 装置 泄漏 搜索 | ||
【主权项】:
1.一种用于气体泄漏检测的装置,包括用于将测试气体喷射到测试对象(20)上的测试气体喷射装置(12),用于抽空测试对象(20)的真空系统(30),其中,所述真空系统(30)包括真空泵(26)和在所述测试对象(20)下游的用于测量所述测试气体含量的气体检测器(28),以及用于评估所述气体检测器(28)的测量信号的评估单元(32),其特征在于:在所述喷射装置(12)和所述评估单元(32)之间设有数据通信链路(34),所述喷射装置(12)适于捕获喷射过程的至少一个时间点并通过所述数据通信链路(34)将所述时间点传达到所述评估单元(32),以及所述评估单元(32)适于表示与所述传达的喷射的时间点相对应的所述测量的测试气体含量。
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