[发明专利]对金属互连结构具有增强粘附性的纳米线接触垫在审
| 申请号： | 201780021572.X | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108885515A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 高剑侠;拉维·帕兰伊斯瓦米;洪明雄 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041;G06F3/044 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张娜;李荣胜 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开一种包括触敏观看区域的电容式触敏装置，该电容式触敏装置被配置为通过检测耦合电容的变化来检测施加至触敏观看区域的触摸的位置。边界区域围绕触敏观看区域。导电的第一电极包括有源部分和处于第一电极的末端处的端部部分，该有源部分设置在触敏观看区域中并且延伸跨越触敏观看区域，该端部部分设置在边界区域中以用于与控制器连接。第一电极的有源部分在观看区域上具有基本上均匀的第一薄片电阻。第一电极的端部部分以导电网的形式图案化，该导电网包括将多个空隙限定在其间的多个互连导电迹线，迹线基本上具有第一薄片电阻，并且空隙具有较高的第二薄片电阻。 | ||
| 搜索关键词： | 观看区域 第一电极 薄片电阻 边界区域 触敏装置 导电网 电容式 金属互连结构 控制器连接 导电迹线 形式图案 耦合电容 末端处 纳米线 粘附性 检测 导电 互连 迹线 触摸 施加 延伸 配置 | ||
【主权项】：
1.一种电容式触敏装置，包括：触敏观看区域，所述触敏装置被配置为通过检测耦合电容的变化来检测施加至所述触敏观看区域的触摸的位置；边界区域，所述边界区域围绕所述触敏观看区域；以及导电的第一电极，所述导电的第一电极包括有源部分和处于所述第一电极的末端处的端部部分，所述有源部分设置在所述触敏观看区域中并且延伸跨越所述触敏观看区域，所述端部部分设置在所述边界区域中以用于与控制器连接，所述第一电极的所述有源部分在所述观看区域上具有基本上均匀的第一薄片电阻，所述第一电极的所述端部部分以导电网的形式图案化，所述导电网包括将多个空隙限定在其间的多个互连导电迹线，其中所述迹线基本上具有所述第一薄片电阻，并且所述空隙具有较高的第二薄片电阻。
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